Rectificadora de superficie de ultraprecisión que logra una alta planitud, una superficie muy lisa, una capa de bajo daño y un proceso de mecanizado integrado
| Uso | 300mmウェーハの超精密平面研削 |
|---|---|
| material | oblea de silicio |
Características principales
- En busca de la rigidez, dos cabezales de procesamiento horizontales están dispuestos de manera que ahorran espacio.
- Al adoptar una ranura horizontal que persigue la rigidez, logra una alta planitud y un esmerilado de bajo daño de la superficie de la oblea de silicio, reduce la carga en el proceso posterior y mejora la productividad total.
- Los husillos de presión estática de aire de alta rigidez se utilizan para husillos de muela abrasiva y husillos de piezas de trabajo.